技术参数：
外形尺寸：L*W*H=4100*3620mm* 1800mm；
设备总重：10000kg；
配置：罗芬CO2激光器一套；
MARK对位相机1套；
真空平台1套；
直线电机轴X,Y轴；
滚珠丝杆调焦Z轴；
X轴：平台移动轴，有效行程1700mm。
Y轴：平台移动轴，有效行程2800mm。
Z轴：有效行程100m。
平台尺寸：2750*1650mm
产品规格：20“-120”
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